|
Осаждение металла Me из пара на подложку, нагретую до 1000 °К, происходит при продувании смеси летучего хлорида МеСl2, газообразного НСl и водорода над этой подложкой в открытой «лодочке» при атмосферном давлении. При этом происходит обратимая реакция МеСl2 + Н2 < -- > Ме + 2НСl. Изменения энтальпии и энтропии dН и dS в ходе этой реакции равны — 30 ккал*моль^-1 и -43,8 кал*моль^-1*град^-1 соответственно (считается, что они не зависят от температуры). Отношение полного числа атомов водорода к числу атомов хлора в исходной смеси равно 0,1. Какова минимальная концентрация МеСl2, при которой осаждение Me термодинамически возможно? Газовую смесь можно трактовать как идеальный газ.
| |